鎂和鈰兩種金屬元素組成,具有很高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,因此在制備薄膜時(shí)具有很好的性能,濺射一種常用的薄膜制備技術(shù),它通過(guò)將靶材置于真空室中,利用高能粒子轟擊靶材表面,使其表面原子脫離并沉積在基底上,從而形成薄膜。鎂鈰合金濺射靶材在這個(gè)過(guò)程中起到至關(guān)重要的作用。
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